MX51半导体检查显微镜

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光） 
通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔 
明暗视场微分干涉6孔

手动式

明视场5孔 
明视场微分干涉6孔 
明视场微分干涉中心输出6孔 
明视场微分干涉7孔 
明暗视场5孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔 
明暗视场微分干涉6孔

载物台

行程

6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm （透射照明范围100×100 mm） 
4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm （透射照明范围96×96 mm）

观察筒

广角视场（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/自动装载

外形尺寸

430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）

重量

26 kg（标准组合）