混气系统2路浮子

CGM-2F混气系统2路浮子

产品概述：

CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。

浮子流量计：两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min

混气罐：内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气

机械压力表（混气罐）：-0.1-0.15 MPa

关键和阀门：

·采用ss304不锈钢

·三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）

外形尺寸：340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

可选：

·CVD或者PECVD

·液相气体发生器

·1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F

·Plasma等离子清洗

净重：约10 Kg

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